煙道排氣連續監測系統
排放水連續監測系統
AMC微污染氣體環境監測
氣體分析儀
水份分析儀
MEECO TRACER2
產品特色
- Ultra Trace Moisture Analyzer Model TRACER2，用於高精度監測超高純度（UHP）氣體中的微量水份。 UHP N2，H2，O2，He和Ar通常用晶圓製造，過程中任何一點的氧污染都會對產品產量產生不利影響。 TRACER2幫助UHP大宗氣體用戶確保採用最高水平的質量控制來保護其生產率。
產品規格
- 型號:TRACER2 Moisture Analyzer
- On line-ppb
- Technology: Based on Faraday's Law of Electrolysis(基於法拉第電解定律)
- Sensor: P2O5
- 分析範圍: Inert 0-2,000 ppb / Oxygen 0-1,200 ppb / Hydrogen 0-500 ppb
- 最低偵測極限: 1 ppb