煙道排氣連續監測系統
排放水連續監測系統
AMC微污染氣體環境監測
氣體分析儀
電化學式微氧分析儀
TAI UT3000
產品特色
應用
- 半導體製程: 氣體純化分析, 移動式分析
- 空氣分離
- 純氣態烴流監測
- 氣態單體的過程監控
- 氣體純度認證
優勢
- PPB等級解析度及準確度
- 可編程範圍和信號平均
- 跨三個用戶可選範圍的分析線性
- 遠程訪問自動量程和自動歸零功能（需要外部閥）
- 自動調整以適應過程異常
- 免維護傳感器
產品規格
- 型號 : UT3000
- Oxygen Analysis-on line-ppm
- 分析範圍 : 0-10 ppm
- 最低偵測極限 : 1 ppb
- 分析氣體種類 : N2, Ar, H2, He